透射電鏡高溫力電原位系統(tǒng)集成了力學(xué)測(cè)量模塊及MEMS芯片模塊，可以在對(duì)樣品1000 ℃加熱的同時(shí)進(jìn)行定量的力學(xué)測(cè)量。MEMS芯片模塊上可以選擇加熱芯片，也可以選擇電學(xué)測(cè)量芯片。力學(xué)測(cè)量模塊可以選擇不同載荷的傳感器，滿(mǎn)足不同實(shí)驗(yàn)需求。實(shí)現(xiàn)了透射電鏡中高分辨定量原位高溫力學(xué)研究。

　　本公司提供的透射電鏡高溫力電原位系統(tǒng)有優(yōu)異的熱學(xué)性能：

　　1.高精密紅外測(cè)溫校正，微米級(jí)高分辨熱場(chǎng)測(cè)量及校準(zhǔn)，確保溫度的準(zhǔn)確性。

　　2.兩電極的超高頻控溫方式，排除導(dǎo)線和接觸電阻的影響，測(cè)量溫度和電學(xué)參數(shù)更精確。

　　3.采用高穩(wěn)定性貴金屬加熱絲(非陶瓷材料)，既是熱導(dǎo)材料又是熱敏材料，其電阻與溫度有良好的線性關(guān)系，加熱區(qū)覆蓋整個(gè)觀測(cè)區(qū)域，升溫降溫速度快，熱場(chǎng)穩(wěn)定且均勻，穩(wěn)定狀態(tài)下溫度波動(dòng)≤±0.1℃。

　　4.采用閉合回路高頻動(dòng)態(tài)控制和反饋環(huán)境溫度的控溫方式，高頻反饋控制消除誤差，控溫精度±0.01 ℃。

　　5.多級(jí)復(fù)合加熱MEMS芯片設(shè)計(jì)，控制加熱過(guò)程熱擴(kuò)散，極大抑制升溫過(guò)程的熱漂移，確保實(shí)驗(yàn)的高效觀察。